光学界面仪 价格，双球差校正场发射透射电子显微镜

二、具体技术规格

1. 工作条件：

1.1电力供应：220V（±10%），50Hz。

1.2工作温度：18℃-23℃。

1.3工作湿度：≤ 60% (20℃)。

1.4仪器运行的持久性：仪器可连续使用。

1.5 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定。

1.6 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准。

2. 设备用途：

2.1用于纳米材料及器件结构的性质和应用研究，可在亚纳米尺度对材料进行快速、精确的形貌观察和微区的结构和成分表征，可以实现原子级高分辨成像和原子级成分分析。本系统要求包括透射电子显微镜主机、双球差校正器、能谱仪、能量损失谱仪、数字相机等组成部分。

3. 技术规格

3.1分辨率

#3.1.1 TEM信息分辨率：≤ 60 pm@300KV，≤100pm @80kV， ≤190pm @30kV。

*3.1.2 STEM分辨率：≤50 pm @300kV，≤96pm @80kV，≤125pm @30kV。

3.2加速电压

#3.2.1加速电压：30 – 300kV，加速电压全程范围内300kV、80kV、30kV不少于三档可自由切换，仅需通过软件完成, 电子束穿透能力强，可自由调节。

3.2.2 具有整套系统各组件，在300kV、80kV、30kV电压下所有工作模式的合轴、标定及球差校正。

3.2.3高压稳定性：≤ 0.8 ppm/10min。

3.3电子枪及镜筒

3.3.1电子枪类型：带有单色器的超稳定超高亮度肖特基场发射电子枪

3.3.2束流/束斑尺寸：≥2nA @ 0.2nm；≥12.0nA @1nm。

*3.3.3 配备物镜和聚光镜双球差校正器。

#3.3.4 集成法拉第杯，对束流实时测量和监控。

#3.3.5最小能量分辨率：STEM模式下能量分辨率不大于0.3eV @300kV。

3.4 会聚束电子衍射（CBED）

3.4.1最大会聚角：≤100mrad。

3.4.2最大取出角：≥±20°。

3.5 透镜系统

3.5.1采用恒功率透镜设计， 配备三级聚光镜，同时配置对称式迷你聚光镜。

3.5.2透镜的温度保持恒定，不随透镜线圈的激励电流和工作模式 (TEM/STEM，放大倍数等)的变化而变化。

3.5.3透镜的温度不随时间变化而变化。

*3.5.4物镜极靴间距：对称的物镜、大于5mm的极靴间隙设计，保证双倾杆、各种原位样品杆及三维重构样品杆的最大转动角度。

3.5.5全自动光阑系统，包括全自动化一级、二级聚光镜光阑，及选区光阑和物镜光阑，带位置记忆功能。

3.6真空系统

3.6.1真空构成：由机械泵、涡轮分子泵和离子泵等无油系统构成，真空高、无反油污染。

3.6.2真空度：电子枪真空度≤1.0 ×10^-7 Pa；样品区真空度≤1.0 ×10^-5 Pa。

3.6.3典型换样时间≤60秒。

3.6.4 污染防止功能：自动整机烘烤系统，可将原位实验等外来污染物清除。

3.7 放大系统

3.7.1放大倍数：不窄于200 – 1,000,000倍。

3.7.2放大倍数重复性误差：＜1.5%。

3.7.3 配置放大倍率校准软件包。

3.8 扫描透射 (STEM)

3.8.1探头：HAADF探头，轴向16分割STEM探测器。

3.8.2可同时采集4幅来自不同角度的电子信号，明场(BF)、环形明场(ABF)、环形暗场(ADF)和大角度环形暗场(HAADF)的图像或可以同时采集明场（BF）、环形暗场（ABF）、低角环形暗场（LAADF）和高角环形暗场（HAADF）图像。

3.8.3最大HAADF STEM接收角：13°(半角)。

#3.8.4 HRTEM与HRSTEM一体化设计，可以与能谱（EDS）、相机等设备同时获取数据。

3.8.5相互切换后所需热稳定时间小于30秒。

3.8.6 STEM放大倍数范围：310 – 100,000,000。

3.8.7 微分相位衬度 STEM 技术，可以实现固有磁场和电场的测量。

3.8.8 可以在束流低的情况下对易损伤样品的轻重元素的同时成像。

3.9 样品台

3.9.1五轴增强型压电陶瓷样品台，可存储和复位五维 (x, y, z, a, b) 坐标。

3.9.2最大倾斜角度：± 70°。

3.9.3低背景双倾样品台，最大倾斜角度：± 35°(a) / ± 30° (b)。

3.9.4样品移动范围：X/Y：≥2mm；Z：≥0.75 mm。

3.9.5最小移动步长：X/Y方向＜ 20 pm；a方向≤ 0.04°。

3.9.6 X/Y/Z方向机械重复精度：≤ 300nm。

3.9.7样品台漂移(使用标准样品杆)：≤ 0.5nm/min。

#3.9.8 具有低剂量曝光技术。

3.10 图像记录装置

3.10.1 配置TEM一体化超高速CMOS相机，可快速寻找观察兴趣区。

3.10.2可STEM同时、连续采集数据，所得TEM像、衍射花样等图像可以以TV模式动态显示 (可直接拍衍射), 可拍摄动态录像，兼容Digital scan系统。

3.10.3安装位置：底部安装。

#3.10.4像素：感应尺寸：≥4,096

4,096像素。

#3.10.5读取速度：≥25fps @4k×4k；≥300fps @512×512。

3.10.6支持可拔插设计。

3.10.7支持客户自行编写电镜控制程序（如Python 编程语言）。

3.10.8相机长度：20-2000mm。

3.10.9相机采集的图像格式与DM格式兼容。

3.10.10带原位功能，在录像模式下获得每帧4Kx4K像素的高清图像。

3.11 一体化能谱仪EDS的规格指标

3.11.1对称式四个电制冷超级能谱或者两个电制冷大能谱。

#3.11.2探测器面积：有效探测器面积 ≥120mm²。

3.11.3 固体角：不小于0.7 srad。

#3.11.4能量分辨率：≤136 eV (Mn-K_a)，在输出计数率10 kcps内保持不变。

3.11.5元素分析范围：从B(5) – Am(95)。

3.11.6最大输入计数率：≥ 1,000 kcps, 最大输出计数率：≥ 500 kcps。

3.11.7最高耐热温度：≥ 1000℃（原位加热杆加热温度）。

3.11.8可进行快速原子级尺寸的点、线、面的定性定量分析，全息面分布分析，具有谱峰剥离和谱峰重构功能。

3.11.9对于纳米级球状样品，在不转动样品的前提下，能从多角度收集X射线性能。

3.11.10在同一用户界面下可以和STEM配合，进行有漂移校正的线扫描和面扫描定性/定量分析。二者同时、连续采集数据，实时显示，并可进行事后分析。

3.12 样品杆

3.12.1 单倾样品杆一根。

3.12.2 大视野低背底双倾样品杆一根。

3.13 电镜操作和控制

3.13.1基于64位Windows的计算机控制系统, 所有电镜操作由电镜控制器直接控制，控制命令为100%数字化信号。含两台24寸液晶显示器，分辨率为≥1600×1280像素。

#3.13.2 最新的功能软件，可以通过直观简单的工作流程，实现快速可重复操作，从电子光学模式设置、探测器选择到采集和分析，快速成功地获得结果。可以同时快速获取不少于4个STEM 信号，使用智能扫描技术，获得高质量的 STEM 图像。

3.13.3能方便地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能便捷地将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。

3.13.4电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。

3.13.5高分辨图像、STEM图像、选区衍射模拟软件。

3.13.6提供磁畴、电场解析软件，可实时观察和解析。

3.14 冷却循环单元

3.14.1 循环水单元：

3.14.1.1制冷功率：≥4.5 kW @ 50 Hz

3.14.1.2温度调节范围： +12 ℃ to +32 ℃

3.14.1.3 控温精度：+/- 0.1 ℃/min.

3.14.1.4电源要求：50 Hz – 220 V

3.14.1.5泵循环容量：最小727 l/hr @4 bar(58 psi)

3.14.2 空压机

3.14.2.1 超静音、自动空压机，噪音≦40 dB@1米范围内

3.14.2.2 每分钟提供空气量不小于37L

3.15 带有能量过滤的能量损失谱系统

3.15.1基本功能：最新一代的能量过滤系统，包括能量过滤透射电镜成像(Energy Filtered TEM, EFTEM)和电子能量损失谱(EELS)分析。

3.15.2工作电压：40kV~300kV

3.15.3能量过滤器主机：标配1)高速2k x 2k CMOS探测器，2）BF/DF探测器，3）100ns级高速静电快门，4）双EELS探测系统，5)实时零损峰(ZLP)校正，6）实时STEM EELS面分布，7）连续EFTEM及8）高级自动能量过滤设置等。

3.15.4入口光阑：9.0/5.0mm成像光阑和5.0mm/2.5mm EELS分析光阑。

3.15.5图像畸变：<0.75%

3.15.6能量分辨率：<0.3eV

3.15.7采谱速度及占空比：8000谱/秒，并且占空比>95%

3.15.8 STEM和Spectrum Imaging(SI)：具有高速谱成像功能，将所有STEM探头集成于STEMPack，并达到8000谱/秒的采谱速度。

3.15.9 EDS与EELS高速同步：具有高速EDS采集功能，能够高速同步采集EDS能谱及EELS谱；具有原位数据采集和分析功能。

4.系统附属配件与支持

4.1 系统附属配件

4.1.1 电镜控制计算机最低配置要求：CPU主频不小于3.4GHz，内存不小于16G， 2个不小于1000G的硬盘，1GB独立显卡，2个24寸显示器，DVD刻录机，64位操作系统。

4.1.2 配备最先进的冷阱系统，加一次液氮可维持一周左右时间。

4.1.3 配置透射电镜专用工具一套。

4.2 验收标准及方法

验收程序分为开箱验收、安装调试和最终验收。

4.2.1买方负责提供安装场地，由卖方负责改造以达到设备安装要求。

4.2.2开箱验收：货物到达买方指定安装地点后，双方代表共同进行开箱验收，并在开箱验收单上签字。如大型设备需吊装等费用，费用由卖方负责。验收内容包括：清点货物是否与合同内容一致，是否完好无缺损，配件、资料是否完备。如有任何问题由卖方负责。

4.2.3安装调试：开箱验收合格后，卖方派遣工程师现场进行安装调试，双方对产品各项功能、指标进行符合性检查并签署安装调试报告。

4.2.4最终验收：经安装调试完毕，买方负责根据相关管理规定及合同规定的技术指标对设备进行验收。验收通过后，双方签署验收意见并加盖公章，作为最终验收完成的依据。

4.3 技术服务及培训

4.3.1设备安装调试完毕后，卖方负责安排技术工程师到用户现场对设备操作及维护进行培训，并提供设备操作规程等相关培训资料。

4.3.2培训时间至少为15个工作日，根据买方需要分次进行。

4.3.3培训期间所有相关费用由卖方承担。

4.4 质量保证和售后服务要求

4.4.1保修期：设备自双方签署验收合格证书之日起进入质保期，质保期为12个月。

4.4.2卖方需提供设备的维修保证和技术服务支持。

保修期内服务：若出现属于合同设备原因的故障，供方应在接到买方通知后2个工作日内提供免费上门维修服务。

保修期外服务：卖方应提供最优惠的零备件价格和人工服务报价。保修期外买方同样能在2个工作日内获得卖方现场技术支持。

4.5 产品资料要求

根据产品特点，卖方应提供相应技术资料和证明文件，包括但不仅限于原厂技术资料（产品手册等）、出厂检测报告、原厂质量证明、原产地证明等。